头发的直径约为80微米，22纳米是头发直径的1/3600。也就是说，这个光刻机能够在头发表面加工各种复杂的结构。
　 ASML最新的第五代光刻机使用波长更短的13.5纳米极紫外光（EUV），用于实现14纳米、10纳米、及7纳米制程的芯片生产。
　　 一台这样的光刻机售价1亿美元以上。
　　 而中科院光电所这台设备，使用波长更长、更普通的紫外光，意味着国产光刻机使用低成本光源，实现了更高分辨力的光刻。
　　 有网友评价称，中国造的光刻机说不定和其他被中国攻克的高科技设备一样，以后也成了白菜价。
　 上海微电子装备目前生产的光刻机仅能加工90纳米工艺制程芯片，这已经是国产光刻机最高水平。而ASML已经量产7纳米制程EUV光刻机，至少存在着十几年的技术差距。
　　 光刻机是制造芯片的核心装备，过去一直是中国的技术弱项。光刻机的水平严重制约着中国芯片技术的发展。